极限真空度　　　Pa

5.0×10^-4 （清洁、干燥、空载）

  恢复真空时间　　Pa

18（从大气～10^-2Pa）

  基材

PET、PVC、PE等

  有效镀幅　　　　mm

800

1200

2000

  最大卷径　　　　mm

Φ350～Φ600

  镀膜速度　　　m/min

0.5～10

  磁控靶数目 　 　只

3～5

  靶材　　　　

ITO、铝、铜、镍、钛、二氧化硅等

  溅射压力　　　　Pa

1～0.1

  溅射电压　　　　V

300～600（D.C或MF）

  工作气体

Ar、 O₂纯度99.99%

  气体流量控制方式

质量流量控制器