真空室尺寸　　　mm

Φ800×1100

Φ1250×1500

Φ1600×1750

Φ1600×2250

Φ2600×2100

  多弧靶数量　　　只

8

14

18

26

26

  极限压力 　   　Pa

1.5×10^-3

  工作压力 　   　Pa

1.2×10^-2

  恢复真空时间　　min

15（大气～10^-3Pa）

  工作转动　　　  rpm

公转、自转/二次自转

  工作气体

Ar 纯度99.99%